射频／微波波段的测试探针

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【摘要】

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<正> 薄膜探针九十年代前,半导体芯片、圆片等未封装器件的直接测试,都是通过机械探针作触点来进行的。随着频率的增加,探针的尺寸也越来越小巧。虽然输入输出都用同轴线传输

【作者】

：

李锦林

【出处】

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电子测试

【发表日期】

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1998年5期

【关键词】

：

射频波段微波波段测试探针微波测量

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<正> 薄膜探针九十年代前,半导体芯片、圆片等未封装器件的直接测试,都是通过机械探针作触点来进行的。随着频率的增加,探针的尺寸也越来越小巧。虽然输入输出都用同轴线传输并且端接有匹配阻抗,但机械探针的杂散电感(nH)和杂散电容(pF),对1GHz以上的频率测试必然带来显著失真,机械探针的尖端对芯片上的触点有

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