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总结并讨论了极紫外光刻技术中，有关极紫外光学器件受辐照污染的＂在线＂检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理；指出光刻系统中＂在线＂检测的技术要求；分析了目前几种主要表面检测技术的特点；给出了每种方法在极紫外光学系统中的应用潜力；最后，指出光纤椭偏仪在极紫外光学系统的“在线”表面污染检测中具有良好的应用前景。