【摘 要】
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介绍公司研发和生产AlGaInP薄膜RS系列LED芯片产品产业化技术现状。通过采用多项先进工艺和质量控制技术．产业化生产的RS—LED外延片和芯片具有良好的性能及可靠性。其中RS—L
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介绍公司研发和生产AlGaInP薄膜RS系列LED芯片产品产业化技术现状。通过采用多项先进工艺和质量控制技术．产业化生产的RS—LED外延片和芯片具有良好的性能及可靠性。其中RS—LED芯片产品通过采用全方位反射镜、衬底转移、金属键合和表面粗糙化等关键工艺技术．实现了良好的大电流特性和电流扩展性能，亮度指标大幅提升，红光RS—LED芯片最高亮度达550mcd，Au—T0封装后器件光通量可达3．51m。针对RS—LED芯片生产工艺的特点，探讨了产业化生产的关键工序、生产过程质量控制点以及质量控制关键参数等，
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