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4 2011年ITRS的新内容——技术工作组总结 4．1O互连ITRS的“互连”一章讨论了对电源和地连接必不可少的布线系统。系统上分布有时钟和CMOS集成电路的其它不同功能块。讨论工艺从接触级的前金属电介质一直到焊接点，描述沉积、刻蚀和平坦化步骤，以及伴随的一些必要的刻蚀、剥离和清洗。讲可靠性和性能的一节包括电子迁移和延迟计算的规范。