【摘 要】
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本文介绍了一种新的半导体气体传感器的检测方法,在实验室构建了一个判别气体的测试系统,与传统测试方法不同的是,新方法的加在传感器膜上的激励源是变化的,它是用电化学工作
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本文介绍了一种新的半导体气体传感器的检测方法,在实验室构建了一个判别气体的测试系统,与传统测试方法不同的是,新方法的加在传感器膜上的激励源是变化的,它是用电化学工作站作为传感器膜上的激励源,采用电压/电流激励的方式进行测试,通过大量实验,证明该方法是一种有效的检测气体的手段。
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