基于电化学原理的半导体气体传感器检测技术

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本文介绍了一种新的半导体气体传感器的检测方法,在实验室构建了一个判别气体的测试系统,与传统测试方法不同的是,新方法的加在传感器膜上的激励源是变化的,它是用电化学工作站作为传感器膜上的激励源,采用电压/电流激励的方式进行测试,通过大量实验,证明该方法是一种有效的检测气体的手段。 This paper introduces a new semiconductor gas sensor detection method, in the laboratory to build a test system to determine the gas, and the traditional test method is different, the new method is added to the sensor film excitation source is variable, it The electrochemical workstation is used as the excitation source on the sensor membrane, and the voltage / current excitation is used for testing. Through a large number of experiments, the method is proved to be an effective gas detection method.
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