【摘 要】
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研究了氧化锡（SnO2）、氧化铌（Nb2O3）共掺杂二氧化钛（TiO2）作为厚膜用氧传感器材料的响应特性。X射线衍射分析表明：适量掺杂使厚膜晶粒保持金红石结构,晶胞参数有所增大。扫描电子显
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研究了氧化锡（SnO2）、氧化铌（Nb2O3）共掺杂二氧化钛（TiO2）作为厚膜用氧传感器材料的响应特性。X射线衍射分析表明：适量掺杂使厚膜晶粒保持金红石结构,晶胞参数有所增大。扫描电子显微镜显示：厚膜在1280℃左右长时间（11h）保温,晶粒仍保持适度尺寸。X射线光电子能谱分析表明：较低的Nb掺杂浓度导致晶粒表面产生高浓度金属缺位（Vm）,低温端（300℃）的氢气响应时间变短；高温端（600℃）的氧气响应时间急剧增大。Nb掺杂浓度较高时,低温端（300℃）氢气响应时间变长；高温端（600℃）氧气响应时间
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