论文部分内容阅读
从基本力学平衡方程出发获得了任意薄膜厚度的磁膜-基底悬臂梁系统弯曲问题的严格解,研究了悬臂梁系统作为弯曲型微传感器件的应用优化问题,并重点分析了构成悬臂梁的两种材料的几何参数和物理参数对悬臂梁自由端最大挠度值的影响.结果表明:在基底厚度确定的情形下,当磁膜/基底的弹性模量比值增加时,悬臂梁自由端挠度的最大值增大,但对应挠度最大值的最优厚度比值则减小;而当悬臂梁的总尺度确定时,系统的挠度最大值与磁膜和基底材料的弹性模量和Poisson比无关.