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期刊论文
光学邻近效应的产生机理分析
光学邻近效应的产生机理分析
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ejianhuang
【摘 要】
:
基于部分相干成像理论,考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点,分析了投影光刻中的光学邻近效应(OPE)产生的机理,模拟了掩模上线条的线宽,线间距的变化对光刻成像质量的影响。
【作 者】
:
石瑞英
郭永康
【机 构】
:
四川大学物理系
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
光学邻近效应
相干成像
投影光刻
OPE.OPC
resolution
nonlinear filter
【基金项目】
:
国家自然科学基金,教育部博士点基金,微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目
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基于部分相干成像理论,考虑了投影曝光系统成像的非线性滤波特点,分析了投影光刻中的光学邻近效应(OPE)产生的机理,模拟了掩模上线条的线宽,线间距的变化对光刻成像质量的影响。
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