【摘 要】
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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了不同硅烷浓度系列的微晶硅电池。结果表明：电池的开路电压随着硅烷浓度的增大而逐渐增加，而电池的短路电流则先增加后
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
【基金项目】
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天津市科委攻关项目（043186511）,国家自然科学基金项目（60506003）,天津市国际科技合作项目（05YFGHHZ01400）
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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了不同硅烷浓度系列的微晶硅电池。结果表明：电池的开路电压随着硅烷浓度的增大而逐渐增加，而电池的短路电流则先增加后减小，在转折点电池的效率达到最大，填充因子则变化不明显；（220）择优取向出现，I（220）／I（111）比值大，电池的短路电流密度也大，电池的效率也最高；在实验的范围内，电池的短路电流密度和厚度成正比例关系；首次在国内制备出了效率达7．3％，短路电流密度（Jsc）为21．7mA/cm^2，开路电压（V∝）为0．52V，填充因子（F
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技