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CMP后的晶圆清洗过程研究
CMP后的晶圆清洗过程研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:y567843241
【摘 要】
:
伴随着整个CMP工艺的进步,CMP后清洗工艺技术也日趋关键。分析了引起缺陷和玷污的因素、微粒去除的理论研究以及清洗的方案;在清洗方案中详细论述了机械去除、化学湿法去除和
【作 者】
:
张伟锋
周国安
詹阳
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年06期
【关键词】
:
CMP
zeta电位
后清洗
兆声清洗
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伴随着整个CMP工艺的进步,CMP后清洗工艺技术也日趋关键。分析了引起缺陷和玷污的因素、微粒去除的理论研究以及清洗的方案;在清洗方案中详细论述了机械去除、化学湿法去除和兆声去除;最后指出了新的技术及发展趋势。
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