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本文用部分相干光成像理论研究了提高分辩力及增大焦深的原理，建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算，对模拟结果了作分析比较。
部分相干光倾斜照明成像研究
【摘 要】
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本文用部分相干光成像理论研究了提高分辩力及增大焦深的原理，建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算，对模拟结果了作分析比较。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,610209
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年4期
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