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本文介绍了离子渗氪设备近几年的进展，其中包括：真空隔热层曲采用；快速冷却系统及真空炉用风机；加热管辅助加热的内热式炉膛；大动率脉冲电源；炉内氮势的自动测量及控制。同时还介绍了Ipsen公司等国内外一些公司的新型全自动离子氮化设备以及大连开发区圣洁真空技术开发有限公司用于离子渗氮设备的几项专利技术，通过研究分析发现，离子渗氮设备的这些进展大大提高了离子渗氮工艺技术的应用性和可靠性，不但降低了生产成本，并且使渗氮质量大大提高，从而使得离子渗氮的工艺技术飞快发展。