四工位碳化台设计制造

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chaowei619

【摘要】

：

对四工位碳化台设计制造方案做了介绍,特别是对影响碳化质量的三个重要因素：碳化的时间、碳化的气体压强和碳化的温度,本方案中分别采取了压力自动平衡系统,通过控制热丝电流

【作者】

：

张吉峰王承章

【机构】

：

北京真空电子技术研究所

【出处】

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真空电子技术

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

碳化台全过程自动控制质量生产效率

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对四工位碳化台设计制造方案做了介绍,特别是对影响碳化质量的三个重要因素：碳化的时间、碳化的气体压强和碳化的温度,本方案中分别采取了压力自动平衡系统,通过控制热丝电流来控制温度,用干泵抽除碳氢化合物气体,用进口电容薄膜规测量碳化时的气体压强,并采用工控机实现全工艺过程自动控制,达到了提高碳化质量和生产效率的目的.

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