【摘 要】
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在用磁控溅射技术制备金属膜电阻器的生产过程中，靶材非常关键，它制约着金属膜电阻器的精度、可靠性、稳定性和电阻温度系数等性能。根据理论分析，提出了高稳定性的高阻靶材的最
【基金项目】
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天津市科技攻关培育基金资助项目(06YFGPGX08400);天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室开放基金资助项目
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在用磁控溅射技术制备金属膜电阻器的生产过程中，靶材非常关键，它制约着金属膜电阻器的精度、可靠性、稳定性和电阻温度系数等性能。根据理论分析，提出了高稳定性的高阻靶材的最佳成分比例。自行设计了熔炼模壳及冷却方法，有效解决了因Si元素的脆性而引发的靶材开裂问题。溅射的金属膜电阻器，其高温储存试验、寿命试验、耐湿试验均达到了国家有关标准。
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