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一种在工模具表面进行陶瓷化涂层沉积的设备,已由西安交通大学、北京航空航天大学开发成功。该设备主要由炉体及真空系统、加热与温控系统、气体供给与监控系统、等离子脉冲直流电源系统及其它辅助机构组成。特征为内热式加热、热电参数的分离控制、逆变式脉冲直流电源及工作气体的精确定量供给。整台设备实现了机电一体化,