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Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件的机理研究
Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件的机理研究
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zou123456ting
【摘 要】
:
使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件,提出了元件的结构模型,并对其感湿机理进行了讨论。
【作 者】
:
刘云峰
陈国平
【机 构】
:
东南大学电子工程系,210096
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
薄膜
MOS
湿敏元件
氧化钽
Ta_2O_5
Thin film
MOS humidity sensitive component
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使用直流磁控反应溅射的工艺方法制备了Ta2O5薄膜MOS型湿敏元件,提出了元件的结构模型,并对其感湿机理进行了讨论。
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