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论述了化学气相沉积(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)法制备金刚石薄膜刀具的原理、开发现状、存在的主要问题,重点介绍了热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜刀具的工艺方法及技术要点。
热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜涂层刀具
【摘 要】
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论述了化学气相沉积(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)法制备金刚石薄膜刀具的原理、开发现状、存在的主要问题,重点介绍了热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜
【机 构】
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鄂州职业大学机械工程学院
【出 处】
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鄂州大学学报
【发表日期】
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2013年03期
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