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用真空自耗电弧炉熔炼获得了两种含Er高温钛合金。测试了这两种高温钛合金的蠕变性能,并用光学显微镜和透射电镜观察了合金蠕变后的组织形貌。结果表明：稀土Er以含有Ti、Er、O的氧化物颗粒的形式存在,细化了晶粒。与合金中析出的硅化物、α2相一起阻碍位错的运动,提高了合金的抗蠕变性能。Er含量达到0.1wt%时,其效果显著。