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无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法
无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法
来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:djs4520345
【摘 要】
:
将无衍射光与莫尔条纹技术相结合,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术。此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性。由于无衍射光的大光学口径和光学数
【作 者】
:
张新宝
赵斌
【机 构】
:
华中理工大学机械科学与工程学院
【出 处】
:
华中理工大学学报
【发表日期】
:
2000年7期
【关键词】
:
测量方法
直线度误差
莫尔条纹
无衍射光
measurement method
straightness error
nondiffracting beam
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目 !( 5 980 5 0 0 6)
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将无衍射光与莫尔条纹技术相结合,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术。此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性。由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量,并且测量系统具有体积小,操作简单,分辨率高等优点。
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