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薄膜全耗尽SOI门阵列电路设计与实现
薄膜全耗尽SOI门阵列电路设计与实现
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yy136301854
【摘 要】
:
在Daisy系统上设计出通用性强、使用方便的SOI门阵列母版及门阵列电路,并采用1.5umCMOS/SOI工艺在薄膜全耗尽SIMOX材料上得以实现,其中包括多种分频器电路和环形振荡器,环振可工作在2.5V,门延误时间在5V时为430ps。
【作 者】
:
魏丽琼
张兴
【机 构】
:
北京大学微电子所
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
门阵列
薄膜全耗尽
SOI
SIMOX
薄膜电路
设计
Gate array
TFD
SOI
SIMOX
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在Daisy系统上设计出通用性强、使用方便的SOI门阵列母版及门阵列电路,并采用1.5umCMOS/SOI工艺在薄膜全耗尽SIMOX材料上得以实现,其中包括多种分频器电路和环形振荡器,环振可工作在2.5V,门延误时间在5V时为430ps。
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