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微量（几何量，机械量）测试是构成微机械技术群中的一个不可缺少的重要技术。由于被测量十分微小，从而形成了微测试技本的难点和特点。本文介绍了一种测量范围在１０～５００微牛顿（１０－６Ｎ）量级的新型测力装置，着重阐述其工作原理、结构以及实际标定所得的性能曲线，可用于微量力的测试。
一种微量力的测量技术
【摘 要】
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微量（几何量，机械量）测试是构成微机械技术群中的一个不可缺少的重要技术。由于被测量十分微小，从而形成了微测试技本的难点和特点。本文介绍了一种测量范围在１０～５００微牛顿（１０－６Ｎ）量级的新型测
【机 构】
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上海交通大学仪器工程系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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