高功率径向桥电极垂直腔面发射激光器的研制

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We report the fabrication of a novel high-power vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with radial bridge electrodes in this letter. The analysis shows that the radial bridge electrodes can reduce the p-type distributed Bragg reflector (p-DBR) electric and thermal resistance, and improve the device beam quality. The high-power radial brigde electrode VCSELs with 200-\mum aperture have been made and tested. The testing results show that the differential resistance of the VCSEL is 0.43 \Omega and the maximal continuous-wave (CW) output power is 340 mW, 1.7 times higher than the conventional electrode device. Its thermal resistance is 0.095 \Degress/mW, and its near-field pattern exhibits a homogeneous distribution. The high-power radial bridge electrode VCSEL has better temperature and opto-electric characteristics.
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