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报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作 可动微机械，动件和固定件同时制作，同现有的牺牲层材料相比，光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先，光致抗蚀剂能直接涂敷，能直接光刻成表。
用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械
【摘 要】
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报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作 可动微机械，动件和固定件同时制作，同现有的牺牲层材料相比，光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年5期
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