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用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械
用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qinghuawuqiong
【摘 要】
:
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作 可动微机械,动件和固定件同时制作,同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些
【作 者】
:
周明宝
崔铮
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
光致抗蚀剂
牺牲层
可动微机械
微机械
工艺
Photoresist
Sacrificial layers
Movable micromechnical str
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报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作 可动微机械,动件和固定件同时制作,同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成表。
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