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GexSi1—x减压化学气相外延过程的流体力学和表面反应动力学分析
GexSi1—x减压化学气相外延过程的流体力学和表面反应动力学分析
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingduli
【摘 要】
:
结合流体力学和表面反应动力学分析了SiH2Cl2+GeH4+H2减压化学气相外延系统。计算和讨论了由于生长压力的变化而导致的反应管内速度分布,温度分析和反应气体浓度分布的变化。计算了生长温度为
【作 者】
:
金晓军
梁骏吾
【机 构】
:
清华大学微电子所,中国科学院半导体所
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1997年8期
【关键词】
:
化学气相外延
流体力学
表面反应动力学
半导体
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结合流体力学和表面反应动力学分析了SiH2Cl2+GeH4+H2减压化学气相外延系统。计算和讨论了由于生长压力的变化而导致的反应管内速度分布,温度分析和反应气体浓度分布的变化。计算了生长温度为700℃时,GeSI外延层中Si,Ge和GexSi1-x生长速度与初始GeH4流量的关系。
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