新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积

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结合自己的工作,介绍了目前国际上新型功能材料与器件研究的热点之一──铁电集成和铁电存贮器的研究开发;报道了用脉冲激光沉积(PLD)这种新型成膜技术制备铁电PZT薄膜的一些实验结果. Combined with their own work, this paper introduces one of the hottest research topics in the field of new functional materials and devices - ferroelectric integration and ferroelectric memory research and development. It reports the new type of film deposition technology using pulsed laser deposition (PLD) Some experimental results of preparing ferroelectric PZT films.
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