【摘 要】
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恒温差工作热膜式空气流量计采用衬底集成电阻检测环境温度,并抑制流量信号的温度漂移。但是加热丝的热扩散使得检测到的环境温度偏高,导致空气流量计存在着温度流量耦合效应
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院大学
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恒温差工作热膜式空气流量计采用衬底集成电阻检测环境温度,并抑制流量信号的温度漂移。但是加热丝的热扩散使得检测到的环境温度偏高,导致空气流量计存在着温度流量耦合效应。空气流量输出信号随环境温度变化,环境温度检测电阻的输出信号随空气流量变化而变化,致使测量存在较大的误差。因此针对空气流量计的温度流量耦合特性,利用多元线性回归方程分别对环境温度检测电阻以及空气流量的输出信号进行补偿,进而采用决定系数评估多元线性回归模型对空气流量计温度流量耦合效应进行补偿。测试结果表明补偿后空气流量温漂、环境温度检测误差分别减小
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