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简要叙述了声表面波（SAW）化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展，指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。
SAW化学战剂传感器的研究进展
【摘 要】
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简要叙述了声表面波（SAW）化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展，指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。
【机 构】
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年9期
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