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系统地分析了纳米薄膜残余应力产生的物理机制，重点讨论了表面应力对纳米薄膜的影响，解释了纳米薄膜特殊的力学性能尺寸相关性，并通过考虑表面应力的有限元模型给出了纳米薄膜单轴拉伸的数值模拟结果。
纳米薄膜力学性能的尺寸相关性及其残余应力分析
【摘 要】
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系统地分析了纳米薄膜残余应力产生的物理机制，重点讨论了表面应力对纳米薄膜的影响，解释了纳米薄膜特殊的力学性能尺寸相关性，并通过考虑表面应力的有限元模型给出了纳米薄膜单
【机 构】
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中山大学工学院,广东省建筑科学研究院,中山大学物理科学与工程技术学院
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金（10572155,10732100）,教育部博士点专项基金（20060558070）
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