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Ge_(0.4)Si_(0.6)/Si超晶格光探测器与Si波导的集成探讨:光场分析
Ge_(0.4)Si_(0.6)/Si超晶格光探测器与Si波导的集成探讨:光场分析
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jfm98999
【摘 要】
:
对Ge0.4Si0.6/Si超晶格探测器光场进行了分析,并用束传播法进行模拟。还探讨了这种探测器与Si波导的集成。在Si波导满足单模传输的条件下,推出光场在探测器中达稳态分布时的传播距离。
【作 者】
:
许雪林
李娜
【机 构】
:
西安交通大学微电子工程系
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
光波导
光探测器
束传播法
锗硅材料
集成光路
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对Ge0.4Si0.6/Si超晶格探测器光场进行了分析,并用束传播法进行模拟。还探讨了这种探测器与Si波导的集成。在Si波导满足单模传输的条件下,推出光场在探测器中达稳态分布时的传播距离。
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