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利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜（TEM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响，利用振动样品磁强计（VSM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大，颗粒尺寸减小，从连续膜转变成颗粒膜；随着膜厚的增加，颗粒尺寸变大，从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构，从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大