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对电子辅助热丝化学气相沉积（Electron-assistedChemicalVaporDeposition，EACVD）系统的一体化技术进行了研究，介绍了EACVD一体化系统的原理和设计，系统包括机械系统和控制系统。金刚石的沉积实验表明，该系统可以提供高质量金刚石生长所需的均匀温度场，而且结构简单、制造成本低。该系统可用于光学涂层以及金刚石微器件的制备研究。