【摘 要】
：
针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析。利用耦合模（COM）理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器（IDT）的COM方程,利用F
【机 构】
：
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室,重庆大学微系统研究中心
论文部分内容阅读
针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析。利用耦合模（COM）理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器（IDT）的COM方程,利用FEMSDA软件得到石英基片中声表面波的色散曲线,提取出COM参数。利用COM软件仿真谐振器的结构参数对其性能的影响,确定谐振器的结构参数。利用传统光刻和腐蚀工艺制作出声表面波谐振器样机,最后用矢量网络分析仪对制作的声表面波谐振器性能进行测试,得到谐振器中心频率为78.34 MHz,插入损耗为-11.273 dB,Q值为6 46
其他文献
控制爆破在城市拆除基础中的应用李长山（新疆地矿局第八地质大队）随着经济的发展，城市的改建和扩建，需要拆除旧的建筑物及基础。最近，我们运用控制爆破拆除基础做了些尝试，取得了良
简述中职学校班主任工作的重要性及其如何提高教育水平,实现其和谐育人的教育方式。
目的探讨介入超声技术在肌骨、神经卡压疾病治疗中的应用价值。方法选取我院近两年注射治疗的42例肌骨疾病及疼痛疾病患者作为研究对象,将其中21例采用触诊穿刺注射治疗的患
地质灾害严重危害着交通、建筑、人身财产安全等，其中滑坡是比较普遍的灾害之一，世界每年损失很大。治理地质灾害是全人类的科研课题。
本文提出了一种通过XML schema制导进行多媒体标注和检索的方法,即首先以schema来定义多媒体数据的结构,然后创建schema制导树,再通过制导树引导用户进行多媒体橱注和检索,并
宋太祖奠定了宋代"文治"战略及国家政策的基础。他诏命中央政府部门使用雕版刻印方式出版了一批重要书籍,开宋代书籍出版兴盛之端。太祖出版的最大、最重要、最具文化价值的
对高位消防水箱是否需设置在建筑最高处及其储水容积进行分析，并提出高位消防水箱储存初期消防用水量按消防软管卷盘用水量来计算更为合理。