【摘 要】
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采用溶胶凝胶法在石英衬底上制备了Mg-Al共掺的ZnO薄膜,研究了不同旋涂层数对ZnO薄膜微观结构、表面形貌以及光学性能的影响.利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外-
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采用溶胶凝胶法在石英衬底上制备了Mg-Al共掺的ZnO薄膜,研究了不同旋涂层数对ZnO薄膜微观结构、表面形貌以及光学性能的影响.利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外-可见分光光度计（UV-VIS）、PL光致发光光谱仪对样品进行了表征与测试.实验结果表明：Mg-Al共掺后的ZnO薄膜均呈现六角纤锌矿结构且沿C轴择优取向生长,薄膜层数的增加能够有效提升薄膜的结晶质量.同时Mg-Al共掺杂能够极大地拓宽ZnO薄膜在近红外光谱域的光透过率,平均透过率超过85%.
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