多晶硅微悬臂梁断裂失效强度的尺寸效应

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhenhua212824

【摘要】

：

为了了解构件尺寸的微型化给材料的强度和弹性模量带来的影响,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲实验来测量其力学特性.该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变,但必须考虑

【作者】

：

丁建宁孟永钢温诗铸

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2001年11期

【关键词】

：

力学性质微机械薄膜多晶硅纳米硬度计尺寸效应失效强度 mechanical propertymicromechanical devicethin fi

【基金项目】

：

高等学校博士学科点专项科研项目

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为了了解构件尺寸的微型化给材料的强度和弹性模量带来的影响,利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲实验来测量其力学特性.该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲形变,但必须考虑压头在微悬臂梁上的压入及微悬臂沿宽度方向的挠曲.试验研究表明,多晶硅微悬臂梁的平均弹性模量为156 GPa ±(4.52～9.83)GPa,其失效断裂强度表现出对构件有效体积和表面积的尺寸效应.由实验测得的失效强度得到KC=1.62 MPa *m1/2,计算出的缺陷尺寸a为58～117 nm.

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