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铜离子处理系统Aquareus system用于去除CMP设备排放液体中的铜离子。这使芯片制造商能够以较低的成本满足最严格的废液排放标准的要求。系统的铜离子移除效率达到99％，并且MTBF能够〉3000小时。系统独有高选择比、流态化的离子交换树脂技术，可以高速处理大量的CMP化学研磨液。
铜离子处理系统
【摘 要】
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铜离子处理系统Aquareus system用于去除CMP设备排放液体中的铜离子。这使芯片制造商能够以较低的成本满足最严格的废液排放标准的要求。系统的铜离子移除效率达到99％，并且MTBF
【机 构】
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MetronTechnologyInc.
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年10期
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