新颖的可增强功率处理能力的X-波段RF MEMS开关

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ccw629

【摘要】

：

介绍了一种可用于射频系统中的微电子机械开关,通过新颖的三层板结构解决了高功率带来的自执行和自锁效应,并且消除了传统三层板结构引入的应力.采用阻抗匹配的方法提高开关

【作者】

：

董乔华廖小平

【机构】

：

东南大学MEMS教育部重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05期

【关键词】

：

RF MEMS开关高功率自执行自锁

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

介绍了一种可用于射频系统中的微电子机械开关,通过新颖的三层板结构解决了高功率带来的自执行和自锁效应,并且消除了传统三层板结构引入的应力.采用阻抗匹配的方法提高开关结构的射频性能.利用CoventorWare软件模拟了开关结构的机电特性,利用HFSS软件匹配了开关结构并且模拟了射频性能.开关结构的吸合(pull-in)电压模拟结果为26V.在整个X波段,开关“开”态时的回波损耗低于-28dB,插入损耗小于0.25dB;“关”态时的隔离度大于28dB.

其他文献

盾构隧道施工对地层深部变形影响

盾构法施工不同于常规施工方法(如浅埋暗挖、矿山开挖等),由于其特有的施工工艺使盾构法施工时引起的应力重分布及深层土体变形较常规方法有所不同,盾构隧道施工时盾构机的掘

期刊

盾构掘进沉降变形竖直沉降盾构隧道施工盾构机深部变形

S·SnO2/HMS-H2O2催化苯甲醛氧化酯化反应

报道了一种高效、温和、对底物有较广泛适用性的苯甲醛氧化酯化反应的催化体系.以双氧水为氧化剂,在较温和的反应条件下,S·SnO2/HMS催化剂可以有效地催化苯甲醛的氧化酯

期刊

苯甲醛HMS中孔分子筛氧化酯化benzaldehyde HMS mesoporous molecular sieve oxidation esteri

山东诸城琴派研究考辨

山东诸城琴派是我国北方地区最具影响力的古琴流派,地域风格鲜明。自上世纪中叶起,学界对诸城琴派的渊源传承、琴人、琴谱、风格特征、生存现状等方面展开研究,成果斐然。对

期刊

山东诸城琴派传承研究考辨

“情暖故土书香农家”为农民带来福音

<正>农家书屋工程是国家实施的一项重大文化惠民工程,是农村公共文化服务体系的重要组成部分,是建设社会主义新农村的重要内容。为加快工程建设进度,解决出版物后续更新问题,

期刊

农家书屋

让每一朵玫瑰都芬芳

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

校服

互通式立交中T形平面交叉设计方法

高速公路一般通过互通与被交叉公路连接，在被交叉公路一侧大多为Ｔ形平面交叉。作为出入高速公路的枢纽工程，往生仅注重互通本身忽视了平面交叉的设计，从致造成不必要的交通阻塞和

期刊

高速公路互通式立交平面交叉设计

基于柯南·道尔作品的文本聚类应用与探究

期刊

文本聚类K-means算法层次聚类算法柯南·道尔

风电塔筒基础环双排螺栓孔法兰的焊接变形控制技术

广东石板岭风电场的塔筒基础环采用大直径钢管与双排螺栓孔法兰T型焊接的结构形式,法兰最大直径为4893mm,普通法兰的焊接工艺无法保证法兰焊接变形及平面度、内倾度的要求,针

期刊

风电塔筒双排螺栓孔法兰焊接变形

线性回归在公路试验数据处理中的应用

利用应用数学中线性回归方法，采用最小二乘法原理处理公路试验数据，并找出试验数据的变化规律和对应的线性回归方程，可以解决公路工程试验中的实际问题。

期刊

线性回归最小二乘法公路试验数据应用

阿尔及利亚东西高速公路平原区跨线桥梁的布设

当高速公路与所经地区的国道、省道、乡村道路及铁路相交叉时，为了维持原先道路正常通行而需要修建跨线桥梁。该文主要介绍了阿尔及利亚东西高速公路中段M4标段跨线桥梁总体布

期刊

平原区跨线桥梁高速公路布设

新颖的可增强功率处理能力的X-波段RF MEMS开关

与本文相关的学术论文