高频感应热等离子体具有能量密度大、温度高和冷却速率快等特点,是制备特种粉体的重要手段之一.本工作介绍了过程所在高频热等离子体制备特种粉体方面的研究进展.利用热等离子体的高温和快速冷却过程,粗颗粒经等离子体弧高温气化,通过控制冷却速率能得到纳米粉体,利用该方法制备了纳米球形硅、铁、钴和镍等粉体,纳米硅粉可用于锂离子电池负极材料.具有固定熔点的不规则颗粒在等离子体弧中经熔融形成球形液滴,快速冷却能获得规则致密的球形颗粒,通过等离子体球化制备了高熔点的钨、钼、铌、铬等规则致密的球形粉体.利用活性氢的瞬时强化还原反应,采用化学气相沉积能制备超细钨、钼、镍和铜等球形金属超细粉体.活性氧有助于调控颗粒的氧化生长过程,采用金属等的氧化反应可获得多种特殊形貌的氧化物.要点:(1)综述了本研究团队高频热等离子体制备特种粉体的研究进展.(2)采用热等离子体能对不规则形貌的粉体进行球化,获得规则致密的球形颗粒.(3)热等离子体物理气相沉积和化学气相沉积能宏量制备纳米粉体.(4)热等离子体有助于调控氧化物的生长,可获得多种形貌的氧化物.