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采用透射电镜高分辨反射电子衍射、扫描电镜形貌观察、X射线衍射等不同方法测试了不同Mg含量的N型氮化镓薄膜的结构。几种测试方法的比较表明，高分辨反射电子衍射是确定厚衬底的薄膜结构的快速而简便的方法，材料的杂质和缺陷是影响其光电导性质的重要因素。
N型氮化镓的结构和光电导特性
【摘 要】
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采用透射电镜高分辨反射电子衍射、扫描电镜形貌观察、X射线衍射等不同方法测试了不同Mg含量的N型氮化镓薄膜的结构。几种测试方法的比较表明，高分辨反射电子衍射是确定厚衬底
【机 构】
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山东大学实验中心,淄博学院基础部,山东大学物理系
【出 处】
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岩矿测试
【发表日期】
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2001年3期
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