【摘 要】
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利用固结式微复制金刚石研磨片（Trizact DiamondTile，TDT）对不同玻璃进行减薄研磨，确定不同粒度金刚石TDT的磨削去除率；研究了研磨后的玻璃加工质量，测量了玻璃表面粗糙度及玻璃亚
【机 构】
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3M中国研发中心,日本住友3M相模原事务所
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利用固结式微复制金刚石研磨片（Trizact DiamondTile，TDT）对不同玻璃进行减薄研磨，确定不同粒度金刚石TDT的磨削去除率；研究了研磨后的玻璃加工质量，测量了玻璃表面粗糙度及玻璃亚表面损伤层的状态。同时用9μm粒度碳化硅浆料做对比研磨试验。结果表明，同样粒度的金刚石TDT与传统的碳化硅浆料研磨相比可以得到更高的磨削去除率，减少玻璃亚表面损伤层，降低粗糙度。对于康宁玻璃，9μm粒度的TDT可以达到95μm／min的磨削去除率，是同粒度碳化硅浆料研磨的2倍多；Ra可以达到0．37μm，明显好于
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