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介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统。该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm。经过实验,验证了该系统的可行性。实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统——M EM S(m icro electrom echan ical system s),实现系统微型化及自动化。