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本文以载玻片、石英为基底,采用控制掺杂方法,制备了ZnO：Cd薄膜,通过热处理方法获得了优良性能的ZnO：Cd薄膜。研究分析了镉浓度为2%-10%时ZnO薄膜的透射光谱。结果表明,有较强的紫外发射峰,但没有深能级发射,未出现其它的发射峰,说明ZnO：Cd薄膜在紫外线区的发射占主导地位,表明带间跃迁占主导地位。