【摘 要】
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本机为试验样机。我们试图通过对它的研制摸索制造微米束机的经验,同时它也可以当作毫米束机来使用,完成旧工艺难以完成的某些类型的半导体器件的掺杂任务,以满足电子工业发
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本机为试验样机。我们试图通过对它的研制摸索制造微米束机的经验,同时它也可以当作毫米束机来使用,完成旧工艺难以完成的某些类型的半导体器件的掺杂任务,以满足电子工业发展的需要。
This machine is a test prototype. We try to explore its experience in manufacturing a microbeam machine by exploiting it, and at the same time it can also be used as a millimeter-millimeter to accomplish the doping task of certain types of semiconductor devices that are difficult to complete with older processes to meet the needs of the electronics industry need.
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