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当物理学家探测和控制尺度越来越小的现象时,对极紫外(10～100 nm)和软X射线(1～30 nm)光谱区相干辐射源的要求便越来越大.例如半导体工业正在竭力研究极紫外光源,用这种光源能产生超过光学光刻极限的线宽.飞秒化学能从这些光源受益,因为这些光源能产生波长非常短的光脉冲.
脉冲整形提高软X射线谐波的产生效率
【摘 要】
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当物理学家探测和控制尺度越来越小的现象时,对极紫外(10～100 nm)和软X射线(1～30 nm)光谱区相干辐射源的要求便越来越大.例如半导体工业正在竭力研究极紫外光源,用这种光源能产
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2001年6期
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