InAs自组织量子点（线）的制备和表征

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tiefer34

【摘要】

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在InP(001)基衬底上用分子束外延方法生长了InAs纳米结构材料,通过改变生长方式,得到了InAs量子点和量子线.根据扫描电镜和透射电镜观测结果的分析,认为衬底旋转时浸润层三角

【作者】

：

武光明李月法贾锐

【机构】

：

北京石油化工学院,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室

【出处】

：

材料研究学报

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

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INAS 自组织量子点制备表征分子束外延生长 Stranski-krastanow模式砷化铟半导体量子体 Molecular beam epitax

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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在InP(001)基衬底上用分子束外延方法生长了InAs纳米结构材料,通过改变生长方式,得到了InAs量子点和量子线.根据扫描电镜和透射电镜观测结果的分析,认为衬底旋转时浸润层三角形状的台阶为InAs量子线的成核提供了优先条件,停止衬底旋转时InAlAs缓冲层沿[110]方向分布的台阶促使InAs优先形成量子点.讨论了量子点和量子线的形成机理.

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