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静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性
静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性
来源 :机械设计与制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanangel1234
【摘 要】
:
运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构-蟹脚型结构的振动特性,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式,分析各几何参量对结构谐振频率的影响,并和静电梳微谐振子的另一种常见
【作 者】
:
丁晓红
陈晓阳
【机 构】
:
苏州大学工学院
【出 处】
:
机械设计与制造工程
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
蟹脚型结构
静电梳微谐振子
谐振频率
微机械
Crab-leg FlexureElectro-Static Driven Comb Micro-resonant
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助课题 !( 598750 55)
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运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构-蟹脚型结构的振动特性,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式,分析各几何参量对结构谐振频率的影响,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构-直脚型结构的振动特性进行了比较,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有设计具有指导意义。
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