静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性

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运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构-蟹脚型结构的振动特性,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式,分析各几何参量对结构谐振频率的影响,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构-直脚型结构的振动特性进行了比较,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有设计具有指导意义。
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