【摘 要】
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基于Gibbs自由能最小原理，对硅和四氯化硅（SiCl4，STC）耦合加氢反应体系进行了热力学分析。通过化学平衡产物组成分布的分析，确定了反应体系主要产物为三氯硅烷（HSiCl3，TCS）、二氯硅烷
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基于Gibbs自由能最小原理，对硅和四氯化硅（SiCl4，STC）耦合加氢反应体系进行了热力学分析。通过化学平衡产物组成分布的分析，确定了反应体系主要产物为三氯硅烷（HSiCl3，TCS）、二氯硅烷（H2SiCl2，DCS）、盐酸（HCl），并构造了3个相应的独立反应，讨论了对应的反应热（△rHmθ）、自由能（△rGmθ）和平衡常数（Kpθ）与温度的关系。计算所采用的温度为673～923K，压力为101．325～2026．5kPa，原料H2与SiCl4物质的量比为1～5。结果表明．生成TCS和DCS的反应
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