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按计划，2006年只推出ITRS修正版而非全新版本，因此其中的重大修改不可能太多。不过ITRS2006修正版的光刻篇则不然，几乎每一页都被改写。主要是因为出现了一个非常重要的更新，那就是将双重图形技术列为进一步提升193nm浸没式光刻（193i）分辨率的潜在解决方案。鉴于其在过去一年内的巨大影响力。