论文部分内容阅读
利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后放入特制的快速热退火炉中进行退火.利用X射线衍射仪（XRD）分析退火后的薄膜晶体结构,用电导率测试仪测试其暗电导率.研究结果表明,利用快速热退火晶化能够使非晶硅薄膜在较低温度下,在较短时间内发生晶化。
低温快速热退火晶化制备多晶硅薄膜
【摘 要】
：
利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后放入特制的快速热退火炉中进行退火.利用X射线衍射仪（XRD）分析退火后的薄膜晶体结构,用电导率测试仪测试其暗电导率.研究结果表明,利用快速热
【机 构】
：
郑州大学,新乡师范高等专科学校
【出 处】
：
可再生能源
【发表日期】
：
2006年3期
其他文献
“送电到乡”项目是政府利用可再生能源解决偏远地区无电人口用电的重要工程，文中调查研究了已建成的光伏电站、风光互补电站的使用情况,电站的主要用电设备,以及用户存在的电
利用生物质成型燃料为吸收式制冷系统提供能量，试验显示，系统运行比较稳定，制冷效果较好。生物质成型燃料炉具带有水套，水套内部的压力为200kPa时，即能达到发生器的发生温度。该制
由于矿物能源资源的有限性和全球环境压力的增加，世界上许多国家都提高了对可再生能源重要性的认识，出台了不少新的政策和措施。我国政府近些年来一直积极探索以强制性手段保障
试验研究了生物质气化产出气作为机动车燃料的可行性。在实际运行的生物质气化系统中进行了富氧试验，并将生物质富氧气化产出气作为机动车燃料，进行了行驶试验。分析了富氧气化
据《中国新能源产业年度报告（2006）》预计．2010年我国的光伏发电产品产量可能突破1000MW，成为世界最大的光伏电池生产国。
对SDBF在民用炊事炉内的点火性能、燃烧过程、焦油的产生与控制、封火特性等进行了试验研究，分析了SDBF炊事炉的燃烧规律以及燃烧过程中存在的问题，为SDBF在民用炊事炉中的合理
通过对被动式太阳房隔热墙热性能的试验测试，得到了该太阳房隔热墙体的绝热热阻随墙体内外温差变化的关系．讨论了该变化关系对太阳房室内空气温度波动幅度的影响。
针对辽河油田洼一联合站水套原油加热炉工艺改造，提出采用高温水源热泵提取油田污水中的低位热能来加热原油的改造方案，并进行了优化分析，经过优化的替代方案的投资回收期为1．63a