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期刊论文
集成电路用聚合物光波导材料
集成电路用聚合物光波导材料
来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:redpig
【摘 要】
:
针对光互连的热门前沿问题,对目前世界上采用的波导材料进行了总结,并重点介绍了含氟聚酰亚胺和聚硅氧烷两种集成电路最适用的材料及其研究现状。为进一步开展大规模光路集成做
【作 者】
:
温昌礼
季家镕
窦文华
宋艳生
【机 构】
:
国防科学技术大学光电科学与工程学院
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2009年7期
【关键词】
:
材料
聚合物
有机物
光波导
波导材料
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针对光互连的热门前沿问题,对目前世界上采用的波导材料进行了总结,并重点介绍了含氟聚酰亚胺和聚硅氧烷两种集成电路最适用的材料及其研究现状。为进一步开展大规模光路集成做了部分基础研究工作。
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