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使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试的波面数据进行多项式拟合,并用计算机处理测试结果,实现了光盘平整度的自动化测量.所测光盘基片平整度的峰谷值为7.88μm,均方根值为2.0μm.
光盘基片平整度的相移干涉测量方法
【摘 要】
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使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试的波面数据进行多项式拟合,并用计算机处理测试结果,实现了光盘平整度的自动
【机 构】
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陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,南京理工大学电光学院
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2004年1期
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